擴散硅壓力傳感器裝置產(chǎn)品特點(diǎn)

1、適合制作小量程的傳感器

硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應在零點(diǎn)附近的低量程段無(wú)死區，制作壓力傳感器的量程可小到幾個(gè)Kpa。

2、輸出靈敏度高

硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50～100倍，故相應的傳感器的靈敏度就很高，一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無(wú)特殊要求，使用比較方便。

3、精度高

由于傳感器的感受、敏感轉換和檢測三部分由同一個(gè)元件實(shí)現，沒(méi)有中間轉換環(huán)節，重復性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大，變形很小，保證了良好的線(xiàn)性。

4、由于工作單性形變低至微應變數量級，彈性芯片zui大位移在亞微米數量級，因而無(wú)磨損，無(wú)疲勞，無(wú)老化，壽命長(cháng)達1×103壓力循環(huán)，性能穩定，可靠性高。

5、由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能，即使是非隔離型的擴散硅壓力傳感器，也有相當程度的適應各種介質(zhì)的能力。

6、由于芯片采用集成工藝，又無(wú)傳動(dòng)部件，因此體積小，重量輕。

擴散硅壓力傳感器裝置是利用壓阻效應原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過(guò)摻雜、擴散，沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向，制成應變電阻，構成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，就制成了一個(gè)集力敏與力電轉換檢測于一體的擴散硅傳感器。